Fabrikasi Lapisan Tipis C-Cr pada Permukaan Si dengan Menggunakan Metode Sputtering

Telah dilakukan pembuatan lapisan tipis karbon-krom (C-Cr) pada permukaan Si. Pelapisan C-Cr pada permukaan Si merupakan eletrode dalam bentuk lapisan tipis. Pengukuran struktur kristal lapisan tipis C-Cr pada permukaan Si dilakukan dengan difraksi sinar-x, pola difraksi yang nampak yaitu puncak C dan Cr. Ukuran kristalit dan regangan lapisan tipis C-Cr yaitu 18,40 A dan regangan 17,78 %. Pengukuran sifat listrk pada pelapisan karbon-krom (C- Cr) dan tanpa pelapisan meliputi konduktansi dan kapasitansi. Dari hasil pengukuran menunjukkan konduktansi lapisan tipis C-Cr dan kapasitansi menurun dengan kenaikan frekuensi, begitu juga dalam bentuk pellet C-Cr dan substrat Si. Hasil analisis permukaan dengan SEM menunjukkan lapisan tipis C- Cr. Pengujian lapisan tipis ini dilakukan guna mengetahui terbentuknya lapian tipis C-Cr dengan ditemukannnya unsur C dan Cr pada permukaan substrat Si. Dari spektrum Raman diperoleh panjang gelombang pada puncak yaitu 538 cm- 1. Hal ini menunjukkan adanya interaksi antara C dan Cr, sehingga puncak yang nampak adalah puncak karbon. Kata kunci : Lapisan tipis, Difraksi sinar-x, Konduktasni, Permukaan, Raman. Abstract To had been done to make thin film of C-Cr on Si surface. Deposition carbon-chrom ( C-Cr ) on Si surface was electrode shape in the thin film. The measurement ctystall structure thin film of C-Cr on Si surface tobe done was with x-ray diffraction which was C and Cr. The crystall size and strain of C-Cr thin film was 18.40 A and strain 17.78 %. The measurement electrical properties on deposition of C-Cr and without deposition as follow conductance and capacitance. The result indicated, that conductance of C-Cr thin film and capacitance decreased with increasing of frequence and also pellet shape of C- Cr and C substract. The result of surface morphology with SEM, indicate to had became of thin film C-Cr on the Si surface. The examine thin film tobe done for know what the thin film of C-Cr was shaped with find out C and Cr on the Si substrate surface. From Raman spectrum tobe find out wave number on the peak 520.56 cm-1, indication that interaction between C and Cr, so that peeak which visible was pek of C. Key word : Thin film, X-ray diffraction, Conductance, Surface, Raman