Dépôt en couches minces de nickel chimique multifonctionnel

Les pompes sèches primaires dédiées aux procédés de fabrication en microélectronique sont soumises à des environnements très corrosifs de plus en plus oxydants et halogénés (Cl2, F2 et O2). Or pour des raisons mécaniques et économiques, les parties fonctionnelles des pompes sont usinées dans la fonte à graphite sphéroïdale EN-GJS-500-7. La fonte est alors protégée par un dépôt de nickel-phosphore (NiP) chimique. Cette thèse, reprend des études classiques sur la cinétique et le mécanisme de nickelage d'une part, et sur l'optimisation des propriétés mécaniques et la résistance à la corrosion des couches de NiP d'autre part. Cependant, le caractère innovant de ce travail repose sur la réalisation de couches NiP sur un substrat en fonte à graphite sphéroïdale.L'étude de la cinétique de nickelage et la caractérisation morphologique des revêtements en fonction du temps de dépôt a montré l'influence de la nature chimique du substrat. Les sphères de graphite affleurantes à la surface du substrat n'étant pas catalyseur du nickel chimique, provoque des défauts dans le revêtement, dommageables pour la conformité du dépôt. Il a été montré qu'une polarisation cathodique de la surface du substrat pouvait, dans les premiers instants du dépôt, amorcer le nickelage à l'aplomb des sphères de graphite.Une relation entre la microstructure des dépôts en fonction des traitements thermiques subis et des propriétés mécaniques des couches de NiP a été mise une évidence. Les dépôts NiP amorphes présentent une faible dureté et un comportement ductile tandis que les dépôts cristallisés possèdent une dureté élevée et un comportement fragile. Ces dépôts ont une bonne tenue à la corrosion en milieux halogéné lorsqu'ils sont intacts. Actuellement, au niveau industriel, les dépôts les plus fragiles sont choisis, bien qu'ils présentent une résistance à la corrosion plus faible : en effet, la durée de vie des pompes est alors supérieure car les effets de grippage sont atténués.Mots-clés : nickel chimique, résistance à la corrosion, fonte à graphite sphéroïdale, caractérisation physico-chimique, couches minces, durabilité mécanique