Die Ausbildung der Textur von vakuumkondensierten In‐Schichten

AbstractDie im Flüssigkeitszustand kondensierenden Partikel besitzen in der ersten Phase der Kristallisation eine ungeordnete Orientierung im Temperaturbereich zwischen dem Schmelzpunkt und der Zimmertemperatur.Eine ausgezeichnete Orientierung mit der Achse ⟂ (111) erscheint erst in einer späteren Phase der Koaleszenz, in der Kristallite eine bestimmte Größe erreichen.Die kritische Massendicke einerseits und die kritische Korngröße andererseits, bei denen die ausgezeichnete Orientierung beginnt, wurde in Abhängigkeit von der Temperatur des Substrates gemessen.Die zum Auftreten der ausgezeichneten Orientierung gehörende Mindestkorngröße nimmt mit zunehmendem Partialdruck des Sauerstoffes monoton ab. Man kann eindeutig feststellen, daß die Wachstumstextur durch eine Umkristallisation, die bei der Koaleszenz vor sich geht, verursacht wird.